Установка вакуумного напыления предназначена для нанесения тонких декоративных плёнок на плоские подложки 500х600 мм.
Сконструирована и изготовлена вакуумная камера в виде вертикально расположенного цилиндра, внутренним диаметром 1900 мм и толщиной стенки 12 мм.
Материал вакуумной камеры: листовая сталь 12Х18Н10Т.
Объем вакуумной камеры 6 м3.
Внутри камеры представлена монтажная площадка для оснастки. Оснастка вакуумной установки магнетронного напыления декоративных покрытий представляет собой трехъярусный барабан с системами сателлитов. Каждый ярус позволяет обслуживать от 6 до 12 плоских подложек максимальным размером 500х600 мм.
Вакуумная установка магнетронного напыления обладает узлами нанесения покрытий методами физического осаждения (PVD), в частности, планарной магнетронно-распылительной системой.
