ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам
Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

30 Апреля 2019

Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

В рамках VacuumTechExpo 2019 прошёл 10-й юбилейный конкурс на лучший инновационный продукт среди компаний, занимающихся разработкой, дистрибуцией и инжинирингом вакуумного, криогенного оборудования.

Компания ООО «Дана Инжиниринг» в рамках конкурса представила разработанную нашими инженерами-конструкторами вакуумную напылительную установку Kurchatov.

Установка ориентирована для использования на серийном и крупносерийном производстве. Данная установка построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной установки является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который линейно перемещается в технологической камере. Установка состоит из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.

Вакуумная установка Kurchatov в Нижнем Новгороде

Преимущества

  • Высокая производительность
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный источник
  • Гибкость при модернизации установки
  • Использование безмасляных средств откачки
  • Многоканальный контроль равномерности напыления и состава плазмы

В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • машиностроение
  • декоративное производство
  • приборостроение
  • оптика
  • микроэлектроника

 

По итогам конкурса «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» победителем стала компания «Дана Инжиниринг»!

Диплом «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий&raquo

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Адыгея Республика
Алтайский Край
Амурская Область
Амурская область
Архангельская Область
Астраханская Область
Башкортостан Республика
Белгородская Область
Брянская Область
Бурятия Республика
Владимирская Область
Волгоградская Область
Вологодская Область
Воронежская Область
Дагестан Республика
Еврейская Автономная область
Забайкальский Край
Ивановская Область
Иркутская Область
Калининградская Область
Калужская Область
Камчатский Край
Карелия Республика
Кемеровская Область
Кировская Область
Кировская область
Костромская Область
Краснодарский Край
Красноярский Край
Крым
Курская Область
Ленинградская Область
Липецкая Область
Марий Эл Республика
Московская Область
Московская область
Нижегородская Область
Новгородская Область
Новосибирская Область
Омская Область
Оренбургская Область
Орловская Область
Пензенская Область
Пермский Край
Приморский Край
Ростовская Область
Рязанская Область
Самарская Область
Саратовская Область
Саха /Якутия/ Республика
Сахалинская Область
Свердловская Область
Ставропольский Край
Татарстан Республика
Тверская Область
Томская Область
Тульская Область
Удмуртская Республика
Ульяновская Область
Хабаровский Край
Хакасия Республика
Чеченская Республика
Чувашская Республика - Чувашия
Ярославская Область
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22

2024, Разработано в